Growth of InP in a Novel Remote-Plasma MOCVD Apparatus : an Approach to Improve Process and Material Properties

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作者
Giovanni Bruno,P. Capezzuto,María Losurdo
出处
期刊:Journal de physique [EDP Sciences]
卷期号:05 (C5): C5-488 被引量:2
标识
DOI:10.1051/jphyscol:1995555
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