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Vapour-etching-based porous silicon: a new approach

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作者
M. Saadoun,N. Mliki,H Kaabi,Kais Daoudi,B. Bessaı̈s,H. Ezzaouïa,R. Bennaceur
出处
期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：2002-02-01 卷期号：405 (1-2): 29-34 被引量：89
标识
DOI：10.1016/s0040-6090(01)01757-6
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