亲爱的研友该休息了!由于当前在线用户较少,发布求助请尽量完整的填写文献信息,科研通机器人24小时在线,伴您度过漫漫科研夜!身体可是革命的本钱,早点休息,好梦!

Material characteristics and thermal stability of cosputtered Ta–Ru thin films

材料科学 X射线光电子能谱 俄歇电子能谱 分析化学(期刊) 温度循环 热稳定性 合金 薄膜 氧化物 溅射 冶金 化学工程 热的 化学 纳米技术 热力学 工程类 物理 核物理学 色谱法
作者
Dong Sing Wuu,Chia Chi Chan,Ray−Hua Horng
出处
期刊:Journal of vacuum science & technology [American Vacuum Society]
卷期号:17 (6): 3327-3332 被引量:21
标识
DOI:10.1116/1.582061
摘要

Ta–Ru alloy films were studied for use as a heater material in thermal ink-jet printheads. Thin films with different Ta/Ru compositions were deposited on oxidized Si substrates by cosputtering. The Ru/Ta ratio in the alloy was found to strongly affect the structure, resistivity, stress, and thermal stability. From x-ray and transmission electron microscopy examinations, the Ta1Ru1 phase has formed and dominated in the compositions exceeding 54 at. % Ru. With increasing the Ru content above 13 at. %, the resistivities of the Ta–Ru thin films begin to rise and can reach a maximum of ∼320 μΩ cm in the composition range between 35 and 54 at. % Ru. It is found that the films with small Ru ratios (⩽22%) exhibit poor thermal stability and the compressive stress increases after each thermal cycle (from 25 to 450 °C) in air, while the films with larger Ru atomic ratios show good stability. The measured stress-temperature behavior was investigated by Auger depth profiling analysis and x-ray photoelectron spectroscopy. The oxygen content of samples after repeated thermal cycling is largely related to the alloy composition. The observed preferential oxidation of Ta in the Ta–Ru samples can be further interpreted by thermodynamic calculations. The Ta-rich surface oxide is believed to be responsible for the oxidation resistance of the Ru atom at high temperatures. This results in the Ru of the metallic state though the oxidation of Ta occurs. Finally, an open pool test environment is arranged such that the liquid pool can be regarded as an infinite reservoir for the heater, from the standpoint of both momentum and energy transport. A lifetime over 1×107 driving pulses can be obtained for the Ta–Ru thin-film heater with 54 at. % Ru content.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
大幅提高文件上传限制,最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
bean完成签到 ,获得积分10
3秒前
songyu发布了新的文献求助10
4秒前
沐雨篱边完成签到 ,获得积分10
5秒前
冯大哥完成签到,获得积分10
5秒前
研友_VZG7GZ应助黄灿采纳,获得10
6秒前
陌回应助jj采纳,获得10
7秒前
咚咚锵完成签到,获得积分0
10秒前
17秒前
黄灿完成签到,获得积分10
18秒前
夕立完成签到,获得积分10
18秒前
黄灿发布了新的文献求助10
21秒前
26秒前
2220完成签到 ,获得积分10
34秒前
枫叶-ZqqC完成签到,获得积分0
41秒前
41秒前
bkagyin应助songyu采纳,获得10
44秒前
顾矜应助酷酷丝采纳,获得10
54秒前
明理的舞仙完成签到 ,获得积分10
59秒前
1分钟前
酷酷丝发布了新的文献求助10
1分钟前
信封完成签到 ,获得积分10
1分钟前
1分钟前
大模型应助科研通管家采纳,获得10
1分钟前
1分钟前
天天大吉GenzheGuang完成签到,获得积分10
1分钟前
Perion完成签到 ,获得积分10
1分钟前
1分钟前
1分钟前
嗯哼应助长度2到采纳,获得10
1分钟前
呆萌刺猬完成签到 ,获得积分10
1分钟前
嗯哼应助半圆亻采纳,获得10
1分钟前
搜集达人应助拜拜采纳,获得10
2分钟前
2分钟前
季生完成签到,获得积分10
2分钟前
2分钟前
SciKid524完成签到 ,获得积分10
2分钟前
无辜的惜寒完成签到 ,获得积分10
2分钟前
2分钟前
Aaron完成签到 ,获得积分10
2分钟前
wangch198201完成签到 ,获得积分10
2分钟前
高分求助中
Corrosion and Oxygen Control 600
Python Programming for Linguistics and Digital Humanities: Applications for Text-Focused Fields 500
Love and Friendship in the Western Tradition: From Plato to Postmodernity 500
Johann Gottlieb Fichte: Die späten wissenschaftlichen Vorlesungen / IV,1: ›Transzendentale Logik I (1812)‹ 400
The role of families in providing long term care to the frail and chronically ill elderly living in the community 380
Zwischen Selbstbestimmung und Selbstbehauptung 300
A Course in Minimal Surfaces 【ProQuest Central数据库】 240
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 有机化学 工程类 生物化学 纳米技术 物理 内科学 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 电极 光电子学 量子力学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 2561353
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 2182943
关于积分的说明 5636243
捐赠科研通 1904754
什么是DOI,文献DOI怎么找? 952157
版权声明 565912
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 505706