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Carbon nitride layers created by laser deposition combined with RF discharge
作者
J. Zemek,
M. Jelı́nek,
V. Vorlı́ček,
Miroslava Trchová,
J. Lančok
出处
期刊：
Diamond and Related Materials
[Elsevier BV]
日期：2000-04-01
卷期号：9 (3-6): 548-551
被引量：13
标识
DOI：10.1016/s0925-9635(00)00209-0
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