发布文献求助

Analysis of Large Particle Count in Fumed Silica Slurries and Its Correlation with Scratch Defects Generated by CMP

作者
Edward E. Remsen,Sriram Anjur,David Boldridge,Mungai Kamiti,Shoutian Li,T. Johns,C. D. Dowell,Jaishankar Kasthurirangan,Paul Feeney
出处
期刊：Journal of The Electrochemical Society [Institute of Physics]
日期：2006-01-01 卷期号：153 (5): G453-G453 被引量：78
标识
DOI：10.1149/1.2184036
摘要
Analysis of Large Particle Count in Fumed Silica Slurries and Its Correlation with Scratch Defects Generated by CMP, Remsen, Edward E., Anjur, Sriram, Boldridge, David, Kamiti, Mungai, Li, Shoutian, Johns, Timothy, Dowell, Charles, Kasthurirangan, Jaishankar, Feeney, Paul
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
小幺发布了新的文献求助10
4秒前
Juzco完成签到 ，获得积分10
4秒前
OrangeMoon完成签到，获得积分10
5秒前
爱撒娇的孤丹完成签到 ，获得积分10
10秒前
zsp完成签到 ，获得积分10
16秒前
丫丫完成签到，获得积分10
20秒前
leeyolo完成签到，获得积分10
22秒前
Likz完成签到，获得积分10
25秒前
30秒前
小幺完成签到 ，获得积分10
30秒前
韩钰小宝完成签到 ，获得积分10
34秒前
wqdoctor完成签到 ，获得积分10
36秒前
DH完成签到 ，获得积分10
36秒前
lzs123发布了新的文献求助10
41秒前
Arctic完成签到 ，获得积分10
45秒前
plant完成签到，获得积分0
48秒前
mikeboying完成签到 ，获得积分10
51秒前
lzs123完成签到，获得积分20
55秒前
睿O宝宝O发布了新的文献求助10
56秒前
Murphy完成签到，获得积分10
56秒前
0323完成签到 ，获得积分10
58秒前
1分钟前
沫荔完成签到 ，获得积分10
1分钟前
刘濮源完成签到，获得积分10
1分钟前
赘婿的应助被雇凶暗杀蛋饺采纳，获得10
1分钟前
zhang完成签到，获得积分10
1分钟前
沈米米完成签到，获得积分10
1分钟前
听书人完成签到，获得积分10
1分钟前
aajhajkahna的应助被科研通管家采纳，获得10
1分钟前
搜集达人的应助被科研通管家采纳，获得10
1分钟前
onw完成签到 ，获得积分10
1分钟前
等待冰之完成签到 ，获得积分10
1分钟前
1分钟前
AA完成签到 ，获得积分10
1分钟前
乔杰完成签到 ，获得积分10
1分钟前
纯真的梦竹完成签到，获得积分10
1分钟前
w0r1d完成签到 ，获得积分10
1分钟前
Biscuit完成签到 ，获得积分10
1分钟前
你都至少信我八分吧完成签到 ，获得积分10
1分钟前
ARIA完成签到 ，获得积分10
1分钟前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Römisch-Germanische Forschungen 1000
Social Psychology (第二版) 700
China Pluperfect I: Epistemology of Past and Outside in Chinese Art 520
Matrix Methods in Data Mining and Pattern Recognition Second Edition 510
The fast track to determining transfer functions of linear circuits: The student guide 500
The Analytical and Numerical Solution of Electric and Magnetic Fields 500
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 计算机科学 内科学 物理 复合材料 催化作用 细胞生物学 无机化学 光电子学 物理化学 电极 基因
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 7612955
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 9188259
关于积分的说明 19683746
捐赠科研通 7186188
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 3270770
关于科研通互助平台的介绍 2434302
邀请新用户注册赠送积分活动 2265667
Copyright © 2020-2026 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 帮助中心 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：821889395【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通