Superresolution patterning in g-line photoresist and silicon assisted by direct-laser-written Ge10Sb90 heat-mode resist film

光刻胶 抵抗 材料科学 蚀刻（微加工） 等离子体刻蚀 光电子学 图层（电子） 硅 激光线宽 栅栏 光刻 反应离子刻蚀 平版印刷术 干法蚀刻 纳米技术 临界尺寸 衍射 X射线光刻 光学 衍射光栅 激光器 干涉光刻 纵横比（航空） X射线光电子能谱 咬边 纳米光刻 各向同性腐蚀 氮化硅 单层 分辨率（逻辑）