Micro-Transfer Printing for Heterogeneous Si Photonic Integrated Circuits

光子学 转印 硅光子学 光子集成电路 材料科学 集成电路 足迹 薄脆饼 巨量平行 晶片键合 集成平台 电子线路 计算机科学 纳米技术 晶圆规模集成 光电子学 电子工程 电气工程 工程类 古生物学 复合材料 并行计算 生物 数据库
作者
Günther Roelkens,Jing Zhang,Laurens Bogaert,Maximilien Billet,Dongbo Wang,Biwei Pan,Clemens J. Krückel,Emadreza Soltanian,Dennis Maes,Tom Vanackere,Tom Vandekerckhove,Stijn Cuyvers,Jasper De Witte,Isaac Luntadila Lufungula,Xin Guo,He Li,Senbiao Qin,Grigorij Muliuk,Sarah Uvin,Bahawal Haq
出处
期刊:IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics [IEEE Photonics Society]
卷期号:29 (3: Photon. Elec. Co-Inte. and Ad): 1-14 被引量:122
标识
DOI:10.1109/jstqe.2022.3222686
摘要

Silicon photonics (SiPh) is a disruptive technology in the field of integrated photonics and has experienced rapid development over the past two decades. Various high-performance Si and Ge/Si-based components have been developed on this platform that allow for complex photonic integrated circuits (PICs) with small footprint. These PICs have found use in a wide range of applications. Nevertheless, some non-native functions are still desired, despite the versatility of Si, to improve the overall performance of Si PICs and at the same time cut the cost of the eventual Si photonic system-on-chip. Heterogeneous integration is verified as an effective solution to address this issue, e.g. through die-wafer-bonding and flip-chip. In this paper, we discuss another technology, micro-transfer printing, for the integration of non-native material films/opto-electronic components on SiPh-based platforms. This technology allows for efficient use of non-native materials and enables the (co-)integration of a wide range of materials/devices on wafer scale in a massively parallel way. In this paper we review some of the recent developments in the integration of non-native optical functions on Si photonic platforms using micro-transfer printing.

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
刚刚
汉堡包的应助被洁净雨采纳,获得10
1秒前
科研通AI6.2的应助被Ting采纳,获得10
1秒前
邹邹发布了新的文献求助10
2秒前
帅气的鸭蛋的应助被平息采纳,获得140
3秒前
en完成签到,获得积分10
3秒前
JerryZ发布了新的文献求助10
3秒前
3秒前
Z鑫鑫子完成签到,获得积分10
3秒前
4秒前
lll完成签到,获得积分20
5秒前
呆呆叹气发布了新的文献求助10
6秒前
wanci的应助被天真发箍采纳,获得30
6秒前
7秒前
自觉的丹珍完成签到,获得积分10
7秒前
格格完成签到,获得积分10
7秒前
坦率灵槐发布了新的文献求助10
8秒前
8秒前
1576682216完成签到,获得积分10
8秒前
雪白元正完成签到,获得积分10
9秒前
9秒前
11秒前
周em12_完成签到,获得积分10
11秒前
12秒前
英姑的应助被萌兰采纳,获得10
12秒前
12秒前
FashionBoy的应助被狗熊采纳,获得10
12秒前
黄康发布了新的文献求助10
13秒前
柒柒发布了新的文献求助10
13秒前
李李发布了新的文献求助10
14秒前
14秒前
科研通AI6.4的应助被芥末帅采纳,获得10
14秒前
14秒前
THREE完成签到 ,获得积分10
14秒前
15秒前
搞怪的寄凡完成签到,获得积分10
15秒前
15秒前
桐桐的应助被JerryZ采纳,获得10
15秒前
沉默老头发布了新的文献求助10
16秒前
molihuakai的应助被辣椒油想躺平采纳,获得10
16秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Essentials of Carbohydrate Chemistry and Biochemistry, 4th Edition 1000
Электротехническая система магнитожидкостной герметизации валов регулируемых электродвигателей 800
日本語と中国語及びチベット・ビルマ語の語源関連性に関する分析 800
Holistic Discourse Analysis, Second Edition by Robert E. Longacre 666
The Basics of Practical Optimization, Second Edition 600
Practical Nonconvex Nonsmooth Optimization 600
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 计算机科学 工程类 纳米技术 有机化学 物理 生物化学 化学工程 内科学 复合材料 催化作用 心理学 人工智能 细胞生物学 光电子学 无机化学 量子力学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 7976039
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 9439879
关于积分的说明 21065908
捐赠科研通 7552239
什么是DOI,文献DOI怎么找? 3374411
关于科研通互助平台的介绍 2509126
邀请新用户注册赠送积分活动 2407418