Thermal budget reduction for spike anneals in conventional RTP

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作者
Silke Hamm,M. Bauer,Christian Pfahler,R. Bremensdorfer,D. Hezler,A. Wansidler
出处
期刊:MRS Advances [Springer Science+Business Media]
卷期号:7 (36): 1270-1273 被引量:1
标识
DOI:10.1557/s43580-022-00462-5
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