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作者
M.F. Achoi,
S. Aiba,
Shinya Kato,
Naoki Kishi,
Tetsuo Soga
出处
期刊：
Journal of Electronic Materials
[Springer Science+Business Media]
日期：2022-10-19
卷期号：52 (1): 351-367
被引量：5
标识
DOI：10.1007/s11664-022-09994-w
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