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Multidimensional Force Cleaning of Impurities on the Surface of Silicon Wafer for the Downstream Product Processing of Integrated Circuits

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作者

Zhonghuang Su,Chunjing Shi,Fanning Meng,Ying Yang,Jinyao Yang,Zhihui Wang,Menghang Wang,Chun Cao

出处

期刊：Journal of Materials Engineering and Performance [Springer Science+Business Media]
日期：2025-08-19 卷期号：35 (4): 4008-4021

标识

DOI：10.1007/s11665-025-11850-x

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