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Mechanically robust flexible HfO2-Based antiferroelectric energy storage capacitors via ultra-low-temperature deposition

材料科学 电容器 储能 反铁电性 沉积（地质） 光电子学 工程物理 复合材料 电介质 电气工程 电压 铁电性 量子力学 沉积物 工程类 功率（物理） 物理 生物 古生物学
作者
Qin Jiang,Dan Li,Yingfang Zhu,Hao Li,Yujie Wu,Yang Zhan,Qunyang Li,Shaoan Yan
出处
期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
日期：2025-07-31 卷期号：200: 109912-109912 被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2025.109912
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