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Effect mechanism of diamond content on tribo-chemical processing of sapphire wafers using developed clusters of diamond and ceria chemically agglomerated abrasive cluster

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作者
Zhankui Wang,Shangci Huang,Kuncheng Liu,Zhicheng Zhao,Yihang Fan,Jiapeng Chen,Yunlong Yao,Minghua Pang,Lijie Ma,Jianxiu Su
出处
期刊：Ceramics International [Elsevier BV]
日期：2025-03-01
标识
DOI：10.1016/j.ceramint.2025.03.153
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