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Biaxial resonant MEMS mirrors with large field of view for LiDAR systems

微电子机械系统激光雷达领域（数学）光学物理航空航天工程工程类光电子学数学纯数学

作者

Lena Wysocki,Jeong-Yeon Hwang,Patrick Schütt,Paul Raschdorf,Erdem Yarar,Gunnar Wille,Shanshan Gu-Stoppel

标识

DOI：10.1117/12.3002711

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