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Biaxial resonant MEMS mirrors with large field of view for LiDAR systems

微电子机械系统 激光雷达 领域（数学） 光学 物理 航空航天工程 工程类 光电子学 数学 纯数学
作者
Lena Wysocki,Jeong-Yeon Hwang,Patrick Schütt,Paul Raschdorf,Erdem Yarar,Gunnar Wille,Shanshan Gu-Stoppel
标识
DOI：10.1117/12.3002711
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