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Grinding marks on ultra-precision grinding spherical and aspheric surfaces

研磨材料科学表面粗糙度砂轮表面光洁度单晶硅冶金复合材料硅

作者

Bing Chen,Shichun Li,Zhaohui Deng,Bing Guo,Qingliang Zhao

出处

期刊：International Journal of Precision Engineering and Manufacturing-Green Technology [Springer Science+Business Media]
日期：2017-10-01 卷期号：4 (4): 419-429 被引量：48

标识

DOI：10.1007/s40684-017-0047-5

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