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Preparation of aluminium doped Ta3N5 films via nitridation of sputtered tantalum oxide films
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作者
Sam Macartney,
Richard Wuhrer,
Laurel George,
L. R. Sheppard
出处
期刊：
Materials Chemistry and Physics
[Elsevier]
日期：2022-05-09
卷期号：287: 126110-126110
被引量：3
标识
DOI：10.1016/j.matchemphys.2022.126110
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