秋分
SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
Impact of deposition temperature on structural and electrical properties of sputtered AlN/ Si (111) for CMOS compatible MEMS
微电子机械系统
材料科学
沉积（地质）
CMOS芯片
光电子学
电阻率和电导率
冶金
工程物理
纳米技术
电气工程
工程类
地质学
沉积物
古生物学
作者
Srikumar Sandeep,
R. Jyothilakshmi,
И. В. Щетинин,
K. B. Vinayakumar,
K.K. Nagaraja
出处
期刊：
Journal of Alloys and Compounds
[Elsevier BV]
日期：2024-10-28
卷期号：1010: 177270-177270
被引量：2
标识
DOI：10.1016/j.jallcom.2024.177270
求助该文献
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
进入登录/注册页面
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
更新
⚡
2026年影响因子、分区
已更新！
(2026-6-17)
更新
📰 新增『新锐期刊分区』
(2026-3-24)
更新
💬 新增更精细的自定义提醒设置
(2026-1-4)
新增
🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻
(2026-1-2)
新增
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
慕青
的
应助
被
淮Q
采纳，获得
10
刚刚
Pami
发布了新的
文献求助
10
刚刚
天天快乐
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
1秒前
充电宝
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
1秒前
一一
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
1秒前
慕青
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
1秒前
深情安青
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
1秒前
xing_xing
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
20
1秒前
科研通AI6.4
上传了
应助文件
1秒前
FashionBoy
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
1秒前
英姑
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
2秒前
小小兵
完成签到，获得积分
10
2秒前
CipherSage
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
2秒前
lanruo
上传了
应助文件
2秒前
此然
完成签到，获得积分
10
2秒前
星辰大海
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
2秒前
香蕉觅云
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
2秒前
xing_xing
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
20
2秒前
CipherSage
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
2秒前
科研通AI6.2
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
2秒前
搜集达人
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
2秒前
彭于晏
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
3秒前
科研通AI2S
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
3秒前
科研通AI6.4
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
3秒前
酷波er
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
3秒前
科研通AI6.4
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
3秒前
共享精神
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
3秒前
JamesPei
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
3秒前
科研通AI6.4
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
3秒前
脑洞疼
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
4秒前
科研通AI6.4
上传了
应助文件
4秒前
赘婿
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
4秒前
Jasper
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
4秒前
枯木逢春
完成签到
，获得积分
10
4秒前
852
上传了
应助文件
4秒前
ojw21
发布了新的
文献求助
10
4秒前
陌上
的
应助
被
Pami
采纳，获得
10
5秒前
英姑
的
应助
被
吕晓毅
采纳，获得
10
5秒前
Dongdong
完成签到，获得积分
10
7秒前
安详香旋
的
应助
被
mu
采纳，获得
10
7秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】
10000
Industrial Hydraulics Manual (7th edition)
800
Physiologic races of the downy mildew fungus on soybeans in North Carolina
800
Rosenblum, Global Change Biology
800
Essentials of Carbohydrate Chemistry and Biochemistry, 4th Edition
800
Organizational Behavior
510
Management and the Arts
510
热门求助领域
（近24小时）
化学
材料科学
医学
生物
纳米技术
计算机科学
化学工程
工程类
有机化学
物理
复合材料
生物化学
内科学
细胞生物学
基因
遗传学
免疫学
冶金
光电子学
癌症研究
热门帖子
关注
科研通微信公众号，转发送积分
7776421
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？
9317867
关于积分的说明
20360689
捐赠科研通
7363158
什么是DOI，文献DOI怎么找？
3318349
关于科研通互助平台的介绍
2466356
邀请新用户注册赠送积分活动
2333730
今日热心研友
DW
573
5670
无极微光
306
7130
秋风
189
3130
xing_xing
129
2750
Nole
63
3105
aaaa
91
2540
cdercder
148
1780
李杰杰
191
1010
Criminology34
148
1360
学术文献互助
2620
Enigma_GEB
123
1360
修仙中
127
990
昏睡的蟠桃
2250
Lo
96
1010
我能私信骂你吗
73
1200
科研狗
1860
刘泽楷
1620
the_coco
1600
共产主义战士
1510
DOC_XIONG
147
注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
DW
无极微光
秋风
xing_xing
Nole
aaaa
cdercder
李杰杰
Criminology34
学术文献互助
Enigma_GEB
修仙中
昏睡的蟠桃
Lo
我能私信骂你吗
科研狗
刘泽楷
the_coco
共产主义战士
DOC_XIONG
皖公网安备34019202002308
