Effects of annealing temperature on characteristics of amorphous nickel carbon thin film alloys deposited on n-type silicon substrates by reactive sputtering

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作者
Zih-Chen Hong,Sham‐Tsong Shiue
出处
期刊:Thin Solid Films [Elsevier BV]
卷期号:618: 21-27 被引量:8
标识
DOI:10.1016/j.tsf.2016.04.032

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