Investigation of N-polar GaN-diamond heterogeneous integration enabled by in-situ sputtered aluminum nitride interlayer

材料科学 光电子学 氮化物 异质结 界面热阻 无定形固体 氮化镓 氮化铝 钻石 铝 热导率 热的 热阻 复合材料 硅 宽禁带半导体 基质（水族馆） 氮化硅 电子迁移率 溅射 化学气相沉积 无线电频率 图层（电子） 热传递 电子工程 复合数 热传导 压力（语言学） 直接结合 晶片键合