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Atmospheric pressure chemical vapour deposition of chromium oxide films

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作者

Ivan P. Parkin,Mark Field

出处

期刊：Journal de physique [Springer Science+Business Media]
日期：1999-09-01 卷期号：09 (PR8): Pr8-393 被引量：2

标识

DOI：10.1051/jp4:1999848

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