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作者
Peter Trefonas,
Thomas Fisher,
Joseph Lachowski
出处
期刊:
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期:1991-03-01
卷期号:13 (1-4): 109-114
被引量:6
标识
DOI:10.1016/0167-9317(91)90059-m
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