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Chemical Vapor Deposition of Silicon Carbide Epitaxial Films and Their Defect Characterization
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作者
G. Dhanaraj,
Yi Chen,
Hui Chen,
Dang Cai,
Hui Zhang,
Michael Dudley
出处
期刊：
Journal of Electronic Materials
[Springer Science+Business Media]
日期：2007-04-02
卷期号：36 (4): 332-339
被引量：9
标识
DOI：10.1007/s11664-006-0084-2
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