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作者
Sang‐Young Lee,
Hyo Kyeom Kim,
Jong-Ho Lee,
Il-Hyuk Yu,
Jae‐Ho Lee,
Cheol Seong Hwang
出处
期刊：
Journal of Materials Chemistry C
[Royal Society of Chemistry]
日期：2014-01-01
卷期号：2 (14): 2558-2568
被引量：50
标识
DOI：10.1039/c3tc32561j
摘要
Variations in the (a) growth rate and (b) film density, measured
via
the XRR of the HfO
2
films with O
3
and H
2
O oxidants as a function of
T
s
(160–360 °C).
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