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Tangential flow filtration of ceria slurry: Application of a single-pass method to improve buff cleaning

泥浆 材料科学 抛光 薄脆饼 过滤（数学） 化学机械平面化 体积流量 堵塞 复合材料 化学工程 纳米技术 机械 统计 物理 数学 考古 工程类 历史
作者
Jaewon Lee,Hyeonmin Seo,Sang-Hyeon Park,Eungchul Kim,Jungryul Lee,Pengzhan Liu,Sanghuck Jeon,Seokjun Hong,Taesung Kim
出处
期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
日期：2022-03-17 卷期号：145: 106618-106618 被引量：7
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2022.106618
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