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Effect of microwave electric field displacement on diamond deposition in microwave plasma chemical vapour deposition: a three-dimensional simulation study

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作者
Zhijian Guo,Zhiliang Yang,Yuchen Liu,Kang An,Liangxian Chen,Jinlong Liu,Junjun Wei,Chengming Li
出处
期刊：Journal of Crystal Growth [Elsevier BV]
日期：2025-07-19 卷期号：668: 128305-128305
标识
DOI：10.1016/j.jcrysgro.2025.128305
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