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Toposelective vapor deposition of hybrid and inorganic materials inside nanocavities by polymeric templating and vapor phase infiltration
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作者
Ville A. Lovikka,
Konsta Airola,
Emily K. McGuinness,
Chao Zhang,
Marko Vehkamäki,
Marianna Kemell,
Mark D. Losego,
Mikko Ritala,
Markku Leskelä
出处
期刊：
Nanoscale advances
[Royal Society of Chemistry]
日期：2022-01-01
卷期号：4 (19): 4102-4113
链接
rsc.org
rsc.org
nih.gov
rsc.org
nih.gov
doi.org
标识
DOI：10.1039/d2na00291d
摘要
The paper presents a nanoselective all-vapor workflow for depositing hybrid and inorganic materials inside nano- and micro-scaled cavities.
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