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Inhibition effect of glycine on molybdenum corrosion during CMP in alkaline H2O2 based abrasive free slurry

化学机械平面化 钝化 腐蚀 过氧化氢 溶解 泥浆 氧化物 材料科学 无机化学 吸附 化学 抛光 极化（电化学） 化学工程 冶金 图层（电子） 复合材料 有机化学 物理化学 工程类
作者
Guang Yang,Peng He,Xin-Ping Qu
出处
期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2017-08-26 卷期号：427: 148-155 被引量：53
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2017.08.140
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