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Atomic layer deposition of BN thin films

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作者
Björn Mårlid,Mikael Ottosson,U. Pettersson,Karin Larsson,Jan‐Otto Carlsson
出处
期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：2002-01-01 卷期号：402 (1-2): 167-171 被引量：52
标识
DOI：10.1016/s0040-6090(01)01706-0
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