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Electron-Beam Technology in Microelectronic Fabrication

微电子 制作 阴极射线 材料科学 光电子学 工程物理 纳米技术 电子 工程类 物理 核物理学 医学 替代医学 病理
作者
George Raymond Brewer,J. P. Ballantyne
出处
期刊：Elsevier eBooks [Elsevier BV]
日期：1980-01-01 被引量：159
标识
DOI：10.1016/b978-0-12-133550-2.x5001-9
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