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Study on uniform size and spherical CeO2 abrasives synthesized by two-step method and their chemical mechanical polishing performances
材料科学
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作者
Ning Xu,
Yu Lin,
Yuxin Luo,
Jiahui Ma,
Jiaguo Yu,
Kailong Gao,
Ziheng Gao,
Zhuo Wang
出处
期刊：
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier BV]
日期：2024-10-01
卷期号：185: 108920-108920
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2024.108920
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