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Synergistic tribo-electrochemical effects on galvanic corrosion behavior and mechanisms of Cu/Co coupling in chemical mechanical polishing

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作者
Junnan Chen,Li Zhang,Yifan Cao,Chonggang Wu,Hongyu Cen,Zhenyu Chen
出处
期刊:Journal of The Taiwan Institute of Chemical Engineers [Elsevier BV]
卷期号:182: 106592-106592 被引量:3
标识
DOI:10.1016/j.jtice.2025.106592
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