Atomic-layer-deposited silicon-nitride/SiO2 stack––a highly potential gate dielectrics for advanced CMOS technology

作者
Anri Nakajima,Quazi D. M. Khosru,Takashi Yoshimoto,Shin Yokoyama
出处
期刊:Microelectronics Reliability [Elsevier BV]
卷期号:42 (12): 1823-1835 被引量:24
标识
DOI:10.1016/s0026-2714(02)00095-1

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