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Grinding wheels for manufacturing of silicon wafers: A literature review

研磨薄脆饼硅机械工程材料科学砂轮制造工程工程类冶金纳米技术

作者

Jiawei Liu,Zhi Pei,Graham R. Fisher

出处

期刊：International Journal of Machine Tools & Manufacture [Elsevier BV]
日期：2006-03-24 卷期号：47 (1): 1-13 被引量：97

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DOI：10.1016/j.ijmachtools.2006.02.003

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