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Directly patterning metal films by nanoimprint lithography with low-temperature and low-pressure

纳米压印光刻材料科学模具图层（电子）纳米光刻纳米技术抵抗金属平版印刷术复合材料聚合物光电子学制作冶金病理替代医学医学

作者

Hsuen‐Li Chen,S. Y. Chuang,Hao Cheng,Chun‐Hung Lin,T.C. Chu

出处

期刊：Microelectronic Engineering [Elsevier BV]
日期：2006-02-20 卷期号：83 (4-9): 893-896 被引量：65

链接

标识

DOI：10.1016/j.mee.2006.01.095

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