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Bonding silicon wafers with reactive multilayer foils

放热反应材料科学差示扫描量热法硅薄脆饼箔法活性材料复合材料分析化学（期刊）冶金纳米技术热力学化学有机化学物理

作者

Xudong Qiu,Jiaping Wang

出处

期刊：Sensors and Actuators A-physical [Elsevier BV]
日期：2007-10-24 卷期号：141 (2): 476-481 被引量：70

标识

DOI：10.1016/j.sna.2007.10.039

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