Potassium‐Sodium‐Niobate‐Based Thin Films: Lead Free for Micro‐Piezoelectrics

压电 材料科学 铁电性 薄膜 微电子机械系统 纳米技术 自然键轨道 光电子学 工程物理 电介质 复合材料 工程类 计算化学 密度泛函理论 化学
作者
Su‐Wei Zhang,Zhen Zhou,Jin Luo,Jing‐Feng Li
出处
期刊:Annalen der Physik [Wiley]
卷期号:531 (7) 被引量:45
标识
DOI:10.1002/andp.201800525
摘要

Abstract Extensive research and great progress of (K,Na)NbO 3 (KNN)‐based lead‐free piezoelectric films have been driven by the current legislation and the requirement for sustainable development of society and environment in the applications of microelectromechanical systems. A comprehensive discussion of the recent achievement in KNN‐based films is presented herein. First, the available synthetic techniques, chemical modification, the ferroelectric and piezoelectric properties of KNN‐based films are reviewed, followed by an introduction of the crystal structures and electrical properties of KNN‐based epitaxial films in comparison with the bulk ceramics. Finally, the applications of KNN‐based films for the sensors, the energy harvesters, and energy storage devices are addressed, and current challenges and prospects for future work are discussed.
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