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A flexible high quality-factor bulk acoustic resonator enabled with transferred single-crystal piezoelectric thin film for sensing applications

谐振器压电材料科学光电子学功勋微电子机械系统 Q系数小型化硅声学纳米技术复合材料物理

作者

Yanmei Xue,Changjian Zhou,Xiu Yin Zhang,Mansun Chan

出处

期刊：Sensors and Actuators A-physical [Elsevier BV]
日期：2021-03-31 卷期号：326: 112721-112721 被引量：6

链接

isiknowledge.com ust.hkdoi.org

标识

DOI：10.1016/j.sna.2021.112721

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