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As 이온 주입시 Vacancy와 Interstitial 형성 및 Cluster가 포함된 격자의 구조와 안정성에 대한 MDS 연구 ( Formation of Vacancy and Interstitial · Structure and Stabilities of As Cluster in Silicon : Moleular Dynamics Simulation )
作者
강정원,
손명식,
강유석,
변기량,
황호정
出处
期刊：대한전자공학회 학술대회
日期：1997-07-01
卷期号：: 329-331
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