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Towards quantitative electrostatic potential mapping of working semiconductor devices using off-axis electron holography
作者
Sadegh Yazdi,
Takeshi Kasama,
Marco Beleggia,
Maryam Samaie Yekta,
David W. McComb,
Alison C. Twitchett-Harrison,
Rafal E. Dunin‐Borkowski
出处
期刊:
Ultramicroscopy
[Elsevier BV]
日期:2014-12-30
卷期号:152: 10-20
被引量:43
链接
nih.gov
handle.net
dtu.dk
doi.org
标识
DOI:10.1016/j.ultramic.2014.12.012
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