Towards quantitative electrostatic potential mapping of working semiconductor devices using off-axis electron holography

作者
Sadegh Yazdi,Takeshi Kasama,Marco Beleggia,Maryam Samaie Yekta,David W. McComb,Alison C. Twitchett-Harrison,Rafal E. Dunin‐Borkowski
出处
期刊:Ultramicroscopy [Elsevier BV]
卷期号:152: 10-20 被引量:43
标识
DOI:10.1016/j.ultramic.2014.12.012

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