Thermal dehydrogenation of amorphous silicon: A time-evolution study

作者
A. de Calheiros Velozo,G. Lavareda,C. Nunes de Carvalho,A. Amaral
出处
期刊:Thin Solid Films [Elsevier BV]
卷期号:543: 48-50 被引量:4
标识
DOI:10.1016/j.tsf.2013.03.035

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