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Electrical parameters and the plasma composition in HCl-H2 mixtures

等离子体材料科学气体成分作文（语言）稀释氢离子辉光放电原子物理学电子等离子体参数动能分析化学（期刊）热力学化学物理色谱法核物理学哲学有机化学量子力学语言学

作者

Alexander Efremov,A. V. Yudina,V. I. Svettsov

出处

期刊：Russian Microelectronics [Pleiades Publishing]
日期：2011-11-01 卷期号：40 (6): 371-378 被引量：5

标识

DOI：10.1134/s1063739711060059

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