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Electrical parameters and the plasma composition in HCl-H2 mixtures

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作者
Alexander Efremov,A. V. Yudina,V. I. Svettsov
出处
期刊：Russian Microelectronics [Springer Nature]
日期：2011-11-01 卷期号：40 (6): 371-378 被引量：5
标识
DOI：10.1134/s1063739711060059
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