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制作
作者
R. Völkel,
Martin Eisner,
K. J. Weible
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：2003-04-05
卷期号：67-68: 461-472
被引量：118
标识
DOI：10.1016/s0167-9317(03)00102-3
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