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Silicon oxynitride as a tunable optical material
作者
S. C. Bayliss,
S. J. Gurman
出处
期刊：
Journal of Physics: Condensed Matter
[IOP Publishing]
日期：1994-06-27
卷期号：6 (26): 4961-4970
被引量：14
链接
iop.org
doi.org
标识
DOI：10.1088/0953-8984/6/26/018
摘要
Thin disordered films of the ternary system SiO x N y with 0
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