Heterometallic Ti-Zr oxo nanocluster photoresists for advanced lithography

极紫外光刻 材料科学 平版印刷术 纳米团簇 纳米技术 下一代光刻 X射线光刻 光刻胶 电子束光刻 抵抗 光电子学 冶金 图层(电子)
作者
Yang Qiao,Guangyue Shi,Ou Zhang,Lixing You,Michaela Vockenhuber,Yasin Ekinci,Feng Luo,Lei Zhang
出处
期刊:Science China. Materials [Springer Nature]
卷期号:67 (10): 3132-3141 被引量:16
标识
DOI:10.1007/s40843-024-3013-9
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
黄pp发布了新的文献求助10
刚刚
杰克发布了新的文献求助10
刚刚
Nizarn发布了新的文献求助10
1秒前
2秒前
敛茫完成签到 ,获得积分10
2秒前
2秒前
充电宝应助活力安阳采纳,获得10
3秒前
炳楷完成签到,获得积分10
3秒前
疲惫的派大星完成签到,获得积分10
3秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
4秒前
4秒前
在水一方应助简单平蓝采纳,获得10
4秒前
深情安青应助辰枫吖采纳,获得10
4秒前
魔幻的河流完成签到,获得积分10
5秒前
niuyangyang发布了新的文献求助10
5秒前
6秒前
6秒前
Alma完成签到,获得积分10
6秒前
Library完成签到,获得积分10
7秒前
cjzj完成签到,获得积分10
7秒前
ccm应助gg没有bond采纳,获得10
7秒前
风趣的新竹完成签到 ,获得积分10
7秒前
hj456完成签到,获得积分10
8秒前
8秒前
杰克发布了新的文献求助10
8秒前
XF完成签到,获得积分10
8秒前
9秒前
科研通AI6应助钱钱钱采纳,获得10
9秒前
9秒前
罐装发布了新的文献求助10
9秒前
彩色书兰完成签到,获得积分20
9秒前
滑稽的小白尼完成签到,获得积分20
10秒前
调皮正豪发布了新的文献求助10
10秒前
英姑应助yulj采纳,获得10
10秒前
10秒前
11秒前
完美世界应助科研通管家采纳,获得10
11秒前
完美世界应助科研通管家采纳,获得10
11秒前
NexusExplorer应助科研通管家采纳,获得10
11秒前
浮游应助科研通管家采纳,获得10
11秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Iron toxicity and hematopoietic cell transplantation: do we understand why iron affects transplant outcome? 2000
List of 1,091 Public Pension Profiles by Region 1021
Teacher Wellbeing: Noticing, Nurturing, Sustaining, and Flourishing in Schools 800
Efficacy of sirolimus in Klippel-Trenaunay syndrome 500
上海破产法庭破产实务案例精选(2019-2024) 500
EEG in Childhood Epilepsy: Initial Presentation & Long-Term Follow-Up 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 纳米技术 计算机科学 内科学 化学工程 复合材料 物理化学 基因 遗传学 催化作用 冶金 量子力学 光电子学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 5477903
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 4579712
关于积分的说明 14370069
捐赠科研通 4507919
什么是DOI,文献DOI怎么找? 2470291
邀请新用户注册赠送积分活动 1457179
关于科研通互助平台的介绍 1431135