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Performance improvement of silicon carbide gate oxide interface by pre-oxidation

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作者
Xiaohua Chen,Lei Ge,Kuan Yew Cheong,Jisheng Han,Hoang‐Phuong Phan,Mingsheng Xu
出处
期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2025-01-10 卷期号：688: 162359-162359 被引量：5
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2025.162359
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