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Nanopillar process flows for sub-10nm magnetic tunnel junctions and optical access applications
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作者
R. C. Sousa,
A. Olivier,
N. Perrissin,
B. M. S. Teixeira,
David Salomoni,
S. Auffret,
L. Vila,
Lucian Prejbeanu,
Liliana D. Buda-Prejbeanu,
B. Diény
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DOI:10.1117/12.3055281
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