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Failure Analysis of Photonic Integrated Circuits
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电气工程
作者
F.H. Baumann,
Brian Popielarski,
R. Sweeney,
F. Beaudoin,
Ken Giewont
标识
DOI：10.31399/asm.edfa.2023-3.p023
摘要
Abstract This article introduces silicon photonics, describes what is needed for photonics failure analysis, and shows examples of analysis results for failures in modern silicon photonics circuits.
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