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Influence of the Bias Potential and Working Gas Pressure on the Properties of the TiSiN/NbN Ion Plasma Multilayer Coating

涂层材料科学离子等离子体气体压力复合材料化学物理核物理学地质学石油工程有机化学

作者

D. V. Horokh,Olga Maksakova,S. А. Klymenko,S. V. Lytovchenko,В. М. Береснев,Oleg V. Glukhov

出处

期刊：Journal of Superhard Materials [Pleiades Publishing]
日期：2022-12-01 卷期号：44 (6): 413-420 被引量：1

标识

DOI：10.3103/s1063457622060041

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