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Submicrostructure evolution of high-phosphorus nickel barrier/seed layers deposited by electroless plating on SiO2/Si substrates for 3D integration applications

化学镀 镍 材料科学 磷 电镀（地质） 冶金 化学工程 纳米技术 图层（电子） 电镀 地质学 工程类 地球物理学
作者
Nikita Buylov,Vitaly V. Pobedinskiy,E. A. Ilina,D. L. Goloshchapov,D. N. Nesterov,Nadezhda V. Stolpovskaya,А. И. Чукавин,E.S. Kersnovskiy,M. V. Grechkina,Pavel L. Parmon,Konstantin Zolnikov,П. В. Середин
出处
期刊：Journal of Alloys and Compounds [Elsevier BV]
日期：2025-08-01 卷期号：1038: 182686-182686
标识
DOI：10.1016/j.jallcom.2025.182686
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