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Low temperature atomic layer deposition of SiO2 thin films using di-isopropylaminosilane and ozone

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作者

Young-Soo Lee,Dong-won Choi,Bonggeun Shong,Saeroonter Oh,Jin‐Seong Park

出处

期刊：Ceramics International [Elsevier BV]
日期：2016-11-01 卷期号：43 (2): 2095-2099 被引量：67

链接

标识

DOI：10.1016/j.ceramint.2016.10.186

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