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Data-driven discovery of novel additives for superconformal cobalt electrodeposition in 3D interconnects

钴材料科学电镀互连贝叶斯优化电化学吸附纳米技术电解质表征（材料科学）表面粗糙度表面光洁度分子过程（计算）化学工程工作（物理）金属计算机科学工艺工程法拉第效率降级（电信）工艺优化

作者

Yuhang Jiang,Guoxiang Cui,Sibo Zhao,Xi Ren,Shenghong Ju,Yunwen Wu

出处

期刊：Chemical Engineering Journal [Elsevier BV]
日期：2026-01-12 卷期号：529: 172903-172903 被引量：1

标识

DOI：10.1016/j.cej.2026.172903

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